发明名称 使用溶液过程制造铝电极的方法以及由此制造的铝电极
摘要 本发明提供一种使用溶液过程制造铝电极的方法以及由此制造的铝电极。所述制造方法包括以下步骤:制造用于溶液过程的、在形成铝之前使用AlH3作为基本材料的铝前体溶液;通过溶液过程在基底上涂覆铝前体溶液并使铝前体溶液干燥;以及通过在最高为150℃的温度下进行的低温烘焙过程来形成低功函数的铝电极。根据本发明的用于制造铝电极的方法改善了由于高温烘焙过程引起的电极的热损伤,防止了原料的过度损耗,并且能够以相对低的成本和通过在大气压下的简单工艺来制造具有从小到大变化的面积的各种尺寸的铝电极。
申请公布号 CN102822386A 申请公布日期 2012.12.12
申请号 CN201080066013.9 申请日期 2010.12.08
申请人 韩国机械研究院 发明人 李惠文;李东垣;尹中烈
分类号 C23C18/31(2006.01)I;C23C18/50(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I 主分类号 C23C18/31(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 顾晋伟;彭鲲鹏
主权项 一种使用溶液过程制造铝电极的方法,所述方法包括:制造铝前体溶液(步骤1);使用所述铝前体溶液涂布基底(步骤2);和在80℃至150℃的温度下对所述经涂布的基底进行热处理(步骤3)。
地址 韩国大田市
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