用于微光刻的投射物镜

摘要

一种用于微光刻的投射物镜（7）被用于将物平面（5）中的物场（4）成像为像平面（9）中的像场（8）。所述投射物镜（7）包括至少六个反射镜（M1至M6），其中至少一个反射镜具有自由形状反射面。根据本发明的第一方面，投射物镜（7）的总长度（T）与物像位移（dOIS）的比小于12。根据本发明的另一方面，像平面（9）是物平面（5）的下游的投射物镜（7）的第一个场平面。根据本发明的另一方面，投射物镜具有多个反射镜（M1至M6），其中总长度（T）与物像位移（dOIS）之间的比小于2。

主权项

光学系统，包括：‑用于微光刻的照明光学系统（6），用于引导由光源（2）发射的照明光（3），以及用于照明物场（4）；‑投射光学系统（16），用于将所述物场（4）成像为像场（8）；‑其中，将所述照明光学系统（6）设计为使得所述照明光（3）在所述光源（2）和所述物场（4）之间具有中间焦点（23），其特征在于所述投射光学系统（16）的总长度（T）与中间焦点像位移（D）之间的比小于5。