带有缓冲装置的硅片周转箱

摘要

本实用新型公开一种带有缓冲装置的硅片周转箱，包括箱体，所述箱体内侧壁上设置有缓冲装置。所述带有缓冲装置的硅片周转箱通过在硅片与箱体内壁接触的高度位置处，固定一个海绵，海绵完全浸泡在水中，硅片倒向该位置时，海绵中的水分被缓缓挤出，硅片缓缓靠向箱体边缘，倾倒过程的时间延长，避免了较强的冲击，且海绵形状与硅片贴合，使得硅片受力均匀，从而避免产生额外的碎片。

主权项

一种带有缓冲装置的硅片周转箱，包括箱体，其特征在于：所述箱体内侧壁上设置有缓冲装置。