一种用于晶体硅铸锭炉的气体导流装置

摘要

本实用新型公开了一种用于晶体硅铸锭炉的气体导流装置，所述晶体硅铸锭炉包括炉体、炉体内的保温装置以及设置在保温装置内的上加热器和石英坩埚，所述气体导流装置包括：依次贯穿上加热器和保温装置顶部并从炉口伸出炉体外的气体导入管；位于所述炉体外部驱动所述气体导入管升降的驱动机构；连接在所述气体导入管底端，且位于上加热器和石英坩埚之间的扩流面板。本实用新型提供的结构简单、安装方便的可升降气体导流装置，可以减少保护气流对坩埚上方加热器的冲刷，减少将加热器表面的含碳杂质冲刷入硅溶液，提高了晶体硅的纯度。

主权项

一种用于晶体硅铸锭炉的气体导流装置，所述晶体硅铸锭炉包括炉体（5）、炉体（5）内的保温装置（8）以及设置在保温装置（8）内的上加热器（6）和石英坩埚（9），其特征在于，所述气体导流装置包括：依次贯穿上加热器（6）和保温装置（8）顶部并从炉口伸出炉体（5）外的气体导入管（2）；位于所述炉体（5）外部驱动所述气体导入管（2）升降的驱动机构；连接在所述气体导入管（2）底端，且位于上加热器和石英坩埚（9）之间的扩流面板（3）。