发明名称 Continuous Remove Method and Equipment of LED Manufacturing Process Exhaust Gas Using Wet-Scrubber and Catalyst Reaction Scrubber
摘要 <p>본 발명은 LED 제조공정 배출가스의 연속 제거 방법 및 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 LED 제조공정에서 사용되는 유독성, 가연성가스 등의 공정가스를 배출하는데 있어서, 1 단계 습식 스크러버와 2 단계 촉매 반응 스크러버를 통과시켜 배출가스에 의한 환경오염 및 안전사고를 방지하기 위한 습식 스크러버와 촉매 칼럼을 이용한 LED 제조공정 배출가스의 연속 제거 방법 및 장치에 관한 것이다.</p>
申请公布号 KR101211625(B1) 申请公布日期 2012.12.12
申请号 KR20100108520 申请日期 2010.11.03
申请人 发明人
分类号 B01D53/75;B01D53/78;B01D53/86;H01L33/00 主分类号 B01D53/75
代理机构 代理人
主权项
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