Continuous Remove Method and Equipment of LED Manufacturing Process Exhaust Gas Using Wet-Scrubber and Catalyst Reaction Scrubber
摘要
<p>본 발명은 LED 제조공정 배출가스의 연속 제거 방법 및 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 LED 제조공정에서 사용되는 유독성, 가연성가스 등의 공정가스를 배출하는데 있어서, 1 단계 습식 스크러버와 2 단계 촉매 반응 스크러버를 통과시켜 배출가스에 의한 환경오염 및 안전사고를 방지하기 위한 습식 스크러버와 촉매 칼럼을 이용한 LED 제조공정 배출가스의 연속 제거 방법 및 장치에 관한 것이다.</p>