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发明名称
Coated substrates and methods for their preparation
摘要
<p>본 발명은 밀도가 1.6g/cm이상인 수소화 옥시탄화규소를 포함하는 하나 이상의 배리어층과 알루미늄, 산화알루미늄, 질화알루미늄, 옥시질화알루미늄, 티탄, 산화티탄, 질화티탄 및 옥시질화티탄으로부터 선택된 하나 이상의 배리어층을 포함하는 피복 기판에 관한 것이다.</p>
申请公布号
KR101210859(B1)
申请公布日期
2012.12.11
申请号
KR20077003724
申请日期
2005.08.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/316
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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