| 摘要 |
<p>본 발명은 흑연 도가니 표면에 열경화성 수지층을 형성하는 단계; 상기 표면에 열경화성 수지층이 형성된 흑연 도가니를 건조하는 단계; 상기 건조된 흑연 도가니를 열처리하여 열경화성 수지를 경화시키는 단계; 및 상기 경화 단계를 거친 흑연 도가니를 열처리하여 경화된 열경화성 수지를 유리질 탄소로 탄화시키는 단계를 포함하는 유리질 탄소 코팅 흑연 도가니의 제조방법, 및 흑연 도가니, 및 상기 흑연 도가니 표면에 형성된 유리질 탄소 코팅층을 포함하는 유리질 탄소 코팅 흑연 도가니에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유리질 탄소 코팅 흑연 도가니는 고온 공정에서도 파티클 발생이 없고 우수한 기계적 강도를 나타내며, 조직이 치밀하여 가스나 유체의 침투가 방지될 수 있다. 또한, 열전도도 등의 특성이 우수하여, 증착 공정시 증착액의 흡수가 방지될 수 있다. 따라서, 이러한 유리질 탄소 코팅 흑연 도가니는 금속이나 합금의 용융, 실리콘 단결정 제조, 박막형 태양전지 제조 등의 다양한 분야, 특히 CIGS계 박막형 태양전지 제조에 유용하게 이용될 수 있다.</p> |
