| 摘要 |
워크에 형성된 보호막에 마킹을 행하는 프로세스에 있어서, 워크의 휘어짐을 억제함으로써 보호막에 정밀도 좋게 마킹을 행하는 마킹방법, 및 그러한 방법에 적합하게 사용되는 보호막 형성 겸 다이싱용 시트를 제공한다. 링 프레임에 팽팽하게 설치된 지지필름, 상기 지지필름 상에 박리 가능하게 적층된 보호막, 상기 보호막에 고착된 워크로 되는 적층상태에 있어서, 상기 지지필름측으로부터 레이저광 조사에 의해 상기 보호막에 마킹하는 마킹방법에 관한 것이다. |
