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发明名称 CORROSION-RESISTANT MEMBER FOR A SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 KR20120134128(A) 申请公布日期 2012.12.11
申请号 KR20127024757 申请日期 2011.03.18
申请人 发明人
分类号 C04B35/50;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 C04B35/50
代理机构 代理人
主权项
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