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<p>노광량 조정 영역이 전환됨으로써 각종 하드웨어의 물리적인 구동이 발생하지 않아, 스루풋을 높게 유지할 수 있는 노광 기술을 실현한다. 원판의 패턴을 조명하기 위한 노광광을 생성하는 조명 장치를 구비하고, 원판과 기판을 동기 주사하여 기판을 노광하는 노광 장치이며, 상기 조명 장치는, 상기 기판을 노광하는 샷마다의 목표 적산 노광량에 기초하여 노광광의 광량을 조정하는 조정 수단을 갖고, 상기 조정 수단은, 광량을 규정하기 위한 복수의 조정 범위로부터 1개의 조정 범위를 선택하고, 선택된 조정 범위 내에 있어서 목표 적산 노광량에 따른 광량을 결정하고, 상기 조정 범위는, 서로 인접하는 조정 범위가 부분적으로 겹치는 범위를 갖도록 설정되어 있고, 상기 조정 수단은, 1개의 기판의 복수의 샷 사이에서 상기 조정 범위의 전환을 행하지 않도록 조정 범위를 선택한다.</p> |
