Apparatus for manufacturing thin film solar cell

摘要

이 박막 태양전지 제조 장치는, 기판을 수용하는 성막실과; 이 성막실 내에서, 상기 기판에 대해 CVD법에 의한 막형성을 행하는 전극 유닛;을 구비한 박막 태양전지 제조 장치로서, 상기 전극 유닛이, 애노드 및 캐소드와; 이들 애노드 및 캐소드를 보유지지하며, 상기 성막실의 벽부의 일부를 이루고, 또한 상기 성막실에 대해 착탈 가능한 측판부;를 가진다.