发明名称 DETECTION APPARATUS FOR PARTICLE ON THE GLASS AND DETECTION METHOD USING THE SAME
摘要 <p>본 발명에 따른 유리 표면 이물 검사 장치는 유리 기판의 이물을 검출하기 위한 레이저광 조사부를 상기 유리 기판의 상부 측면과 하부 측면에 각각 하나씩 소정의 간격을 두고 구비하되, 상기 레이저광 조사부로부터 출사되는 광이 상기 유리 기판의 이송 방향에 수직한 방향으로 조사되도록 구성하여 유리 표면에 부착된 이물질을 빠짐없이 정확하게 검출할 수 있도록 함을 특징으로 한다.</p>
申请公布号 KR101209857(B1) 申请公布日期 2012.12.10
申请号 KR20090014186 申请日期 2009.02.20
申请人 发明人
分类号 G01B11/30;G01N21/47;G01N21/94 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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