| 摘要 |
<p>진공 배기계의 설비의 소형화와 이것에 의한 비용저감 및 진공 배기시간의 단축을 위한 진공 배기계 배관의 소구경화에 대응하여, 가스의 분해에 기인하는 해리 생성물의 퇴적에 의한 내부의 부식이나 막힘, 시트리크 등을 방지할 수 있도록 한 밸브를 제공하는 것이다. 구체적으로는, 알루미늄 부동태를 진공 배기계에 사용되는 밸브 등의 배관 부품에 사용하여, 베이킹시의 온도상승에 의한 가스의 분해를 억제함으로써 진공 배기계의 소구경화에 적합한 부품, 특히 가스의 분해에 의해 발생하는 생성물의 퇴적에 의해 부식이나 막힘, 시트리크 등이 발생하지 않도록 한다.</p> |
