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<p>OLED 박막 봉지 시스템이 개시된다. 본 발명의 OLED 박막 봉지 시스템은, 기판을 전달하는 제1 트랜스퍼 챔버; 및 제1 트랜스퍼 챔버로부터 기판을 전달받아 대기압에서 기판에 유기막을 봉지하는 대기압유기막봉지장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 대기압에서 유기막 봉지 공정을 진행할 수 있어 유기막 봉지 공정시의 진공시스템이 필요 없고 모노머 사용 효율이 우수하며, 또한 모노머 물질이 기판 이외의 챔버 내벽 등의 다른 부분에 증착되지 않으므로 성막 후 무기막 공정을 위한 펌핑 시간을 단축시킬 수 있다.</p> |
