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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20120132696(A) 申请公布日期 2012.12.07
申请号 KR20127029668 申请日期 2011.03.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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