| 摘要 |
<p>본 발명은, 기판 상에 막두께가 균일한 박막을 형성할 수 있는 유기 EL 디바이스 제조 장치 및 성막 장치를 제공하는 것이며, 유기 EL 디바이스의 제조 장치에 있어서, 증발시킨 증착 재료를 선 상에 배치한 복수의 노즐을 통해 진공조의 내부로 방출시키는 증발원의 각 노즐로부터의 유기 EL 재료의 증발량을, 증발량 모니터 수단으로 각 노즐에 모니터하고, 상기 모니터한 각 노즐의 유기 EL 재료의 증발량의 정보를 이용하여 제어 수단으로 증발원을 제어하도록 하였다.</p> |
