| 摘要 |
<p>본 발명은 복수의 웨이퍼들을 카세트에 적재시키는 적재 장치와, 상기 웨이퍼들이 적재된 복수의 카세트들을 수용하며 상기 카세트들을 순차적으로 이송시키면서 상기 웨이퍼들을 건조시키기 위한 드라이 오븐과, 상기 드라이 오븐에서 배출된 카세트로부터 웨이퍼들을 반출시키는 반출 장치, 및 상기 적재 장치와 반출 장치에 연결되며 상기 웨이퍼들이 반출된 빈 카세트를 상기 적재 장치로 반송시키는 반송 장치를 포함하는 드라이 오븐 시스템에 관한 것으로서, 이에 따르면 웨이퍼의 대량 건조가 가능하며 보다 효율적인 시스템 운용이 가능한 이점이 있다.</p> |
