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<p>플라즈마 처리 시스템에서, 플라즈마 처리 챔버의 플라즈마 챔버 표면들의 세트 상의 부산물의 퇴적물을 감소시키는 방법이 개시된다. 본 방법은 플라즈마 처리 챔버에 퇴적 배리어를 제공하는 단계를 포함하고, 이 퇴적 배리어는 플라즈마 처리 챔버의 플라즈마 발생 영역에 배치되도록 구성되어, 플라즈마 처리 챔버 내부에서 플라즈마가 스트라이킹될 때 생성되는 적어도 일부의 처리 부산물들이 퇴적 배리어에 부착되고, 플라즈마 처리 챔버 표면들의 세트 상의 부산물의 퇴적물을 감소시킨다.</p> |
