发明名称 Kapazitiver Drucksensor
摘要 Ein verbessertes kapazitives Manometer, welches aufweist: eine Membran, welche (a) eine gemeinsame Elektrode und (b) eine Elektrodenkonstruktion aufweist, die eine Zentrumselektrode und eine Ringelektrode aufweist, wobei die Membran bewegbar ist zwischen (i) einer Nullposition, wenn der Druck auf beiden Seiten der Membran gleich ist, und (ii) einer maximalen Differenzposition, wenn die maximal messbare Druckdifferenz auf die Membran einwirkt, und eine Halterungskonstruktion, die so ausgebildet ist, dass sie die Membran so haltert, dass diese in Bezug auf die Elektrodenkonstruktion eingespannt ist, und die gemeinsame Elektrode beabstandet ist von und in Axialrichtung ausgerichtet ist zu der Zentrumselektrode und der Ringelektrode relativ zu einer Ausrichtungsachse des Manometers; wobei die Elektrodenkonstruktion relativ zur Membran an zumindest drei Klemmorten befestigt ist, die im Winkelabstand um die Ausrichtungsachse vorgesehen sind; und wobei der Winkel, der in jeder Ebene, die einen Punkt der Einspannung der Membran enthält, und dem Punkt jedes Klemmortes relativ zur Ebene der Membran in der Nullposition definiert ist, zwischen 60° und 90° liegt, um Änderungen der Halterungshöhe der Elektrodenscheibe zu verringern, und kleinere Spalte und eine verbesserte Stabilität zwischen der Membran und der Elektrodenkonstruktion zu ermöglichen. Eine zusätzliche Verbesserung wird dadurch erzielt, dass ein Abstandsring vorgesehen ist, der mehrere Zungen aufweist; und eine Klemme, die so ausgebildet ist, dass sie die Elektrodenkonstruktion am Abstandsring an dem Ort jeder der Zungen festklemmt, um mehrere im gleichen Winkelabstand beabstandete, eingeklemmte Orte um die Ausrichtungsachse herum festzulegen, um so die Möglichkeit einer vom Abstandsstück hervorgerufenen gelegentlichen radialen Scherkraft und eines sich anschließenden möglichen Schlupfzustands auszuschalten, welche die Wiederholbarkeit und Stabilität beeinträchtigen könnten.
申请公布号 DE112011100416(T5) 申请公布日期 2012.12.06
申请号 DE201111100416T 申请日期 2011.02.01
申请人 MKS INSTRUMENTS INC. 发明人 BLANKENSHIP, STEVEN D.
分类号 G01L9/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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