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Beschleunigungssensor, gekennzeichnet durch ein Substrat (1); einen ersten Torsionsstab (11), der von dem Substrat (1) abgestützt und um eine erste Torsionsachse herum verwindbar ist; einen ersten Detektierrahmen (21), der von dem Substrat (1) mit dem ersten Torsionsstab (11) so abgestützt ist, daß er um die erste Torsionsachse drehbar ist;einen zweiten Torsionsstab (12), der von dem Substrat (1) abgestützt und um eine zweite Torsionsachse herum verwindbar ist; einen zweiten Detektierrahmen (22), der von dem Substrat (1) mit dem zweiten Torsionsstab (12) so abgestützt ist, daß er um die zweite Torsionsachse drehbar ist; eine Vielzahl von Detektierelektroden (40), die auf dem Substrat (1) so ausgebildet sind, daß sie jedem von dem ersten und zweiten Detektierrahmen (21, 22) zugewandt sind, um einen zwischen dem Substrat (1) und jedem von dem ersten und zweiten Detektierrahmen (21, 22) gebildeten Winkel auf der Basis der elektrostatischen Kapazität zu...
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