发明名称 |
Verfahren zum Bilden einer Fensterschicht in einer Dünnschicht-Photovoltaikvorrichtung auf Cadmiumtelluridbasis |
摘要 |
Allgemein bereitgestellt werden Verfahren zum Herstellen solcher Dünnschicht-Photovoltaikvorrichtungen mittels Sputtern einer gemischtphasigen Schicht von einem Target (z. B. mindestens enthaltend CdSOx, wobei x gleich 3 oder 4 ist) auf eine transparente leitende Oxidschicht (14) und zum Aufbringen einer Cadmiumtelluridschicht auf der gemischten Schicht. Die transparente leitende Oxidschicht (14) befindet sich auf einem Glassubstrat (12).
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申请公布号 |
DE102012104616(A1) |
申请公布日期 |
2012.12.06 |
申请号 |
DE201210104616 |
申请日期 |
2012.05.29 |
申请人 |
PRIMESTAR SOLAR, INC. |
发明人 |
FELDMAN-PEABODY, SCOTT DANIEL;GOSSMAN, ROBERT DWAYNE |
分类号 |
H01L31/18;C23C14/06;H01L21/28;H01L21/363;H01L31/0296;H01L31/073 |
主分类号 |
H01L31/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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