发明名称 Verfahren zum Bilden einer Fensterschicht in einer Dünnschicht-Photovoltaikvorrichtung auf Cadmiumtelluridbasis
摘要 Allgemein bereitgestellt werden Verfahren zum Herstellen solcher Dünnschicht-Photovoltaikvorrichtungen mittels Sputtern einer gemischtphasigen Schicht von einem Target (z. B. mindestens enthaltend CdSOx, wobei x gleich 3 oder 4 ist) auf eine transparente leitende Oxidschicht (14) und zum Aufbringen einer Cadmiumtelluridschicht auf der gemischten Schicht. Die transparente leitende Oxidschicht (14) befindet sich auf einem Glassubstrat (12).
申请公布号 DE102012104616(A1) 申请公布日期 2012.12.06
申请号 DE201210104616 申请日期 2012.05.29
申请人 PRIMESTAR SOLAR, INC. 发明人 FELDMAN-PEABODY, SCOTT DANIEL;GOSSMAN, ROBERT DWAYNE
分类号 H01L31/18;C23C14/06;H01L21/28;H01L21/363;H01L31/0296;H01L31/073 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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