发明名称 Evaporation equipment including deposits vessel
摘要 <p>또한 본 발명은, 피증착 기판의 저면에 결합되어 구동수단의 상측에 위치되는 마스크와, 마스크를 피증착 기판의 저면에 고정시키는 고정클립을 더 포함하여, 피증착 기판에 형성된 증착막의 손상을 방지할 수 있는 증착장치를 제공한다.</p>
申请公布号 KR101208995(B1) 申请公布日期 2012.12.06
申请号 KR20050032569 申请日期 2005.04.20
申请人 发明人
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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