POSITION DEVIATION PREVENTING DEVICE, SUBSTRATE HOLDING MEMBER INCLUDING THE SAME, SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD

摘要

진공 상태에서도 기판 보지구(保持具)에 보지된 기판의 위치 이탈을 억제할 수 있는 위치 이탈 방지 장치를 제공한다. 포크(101)에 착탈 가능하게 장착 가능한 위치 이탈 방지 장치(201)는 본체(203)와, 이 본체(203)의 상면(203a)으로 돌출되어 설치된 복수의 가동핀(205)과, 이들 가동핀(205)에 각각 독립적으로 상방향(돌출되는 방향)으로 힘을 가하는 코일 용수철(207)을 구비하고 있다.