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Eine mehrachsige Aktorvorrichtung für eine Nanopositionier-Vorrichtung umfasst ein bewegliches Element, das an einem Probentisch angebracht ist, eine Mehrzahl von Antriebselementen, und eine Mehrzahl von Aktoren. Die Antriebselemente stehen in einem reibschlüssigen Eingriff mit dem beweglichen Element und sind zum selektiven Bewegen des beweglichen Elements längs einer ersten Richtung ausgelegt. Die Mehrzahl von Aktoren bewegt die Mehrzahl von Antriebselementen, wenn Ansteuersignale an die Mehrzahl von Aktoren angelegt werden. Unterschiedliche Ansteuersignale können an die Mehrzahl von Aktoren angelegt werden, um eine unterschiedliche Bewegung der Antriebselemente zu bewirken, so dass das bewegliche Element unterschiedliche Verstellungen in verschiedenen Richtungen entlang der Mehrzahl von Antriebselementen ausführt. Das bewegliche Element wird aufgrund der unterschiedlichen Verstellungen gekippt.
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