Selektives Abtragen dünner Schichten mittels gepulster Laserstrahlung zur Dünnschichtstrukturierung

摘要

Das selektive Abtragen dünner Schichten betrifft ein Verfahren zur Strukturierung von Dünnschichtsolarzellen auf Chalkopyrit-Basis mittels gepulster Laserstrahlung durch den Abtrag zuvor aufgebrachter Schichten. Die Erfindung betrifft eine Strukturierungsmethode, die nur geringe thermische Belastungen des zu strukturierenden Schichtsystems durch Laserbestrahlung zur Folge hat. Erfindungsgemäß wird die Strukturierung der dünnen Schichten dadurch erzielt, dass ein durch Wellenlänge, Pulsdauer und Energiedichteverteilung charakterisierter Laserstrahl auf die dem Dünnschichtsystem gegenüberliegende Seite des Substrates gerichtet wird und so der Abtrag von Schichten des Dünnschichtsystems erzielt wird. Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet ist die Strukturierung von Dünnschichtsolarzellen auf flexiblem Träger.