用于石墨晶舟的固定柱

摘要

本实用新型公开一种用于石墨晶舟的固定柱。固定柱包含本体部、颈部以及头部。本体部用以与晶舟组合，并承载太阳能电池芯片。颈部与本体部连接，用以供芯片的边缘抵靠，颈部的轮廓为圆柱体。头部与颈部连接，用以限制芯片远离本体部的移动，头部的轮廓为截头圆锥体。固定柱的头部轮廓设计为截头圆锥体，与圆柱体的颈部连接，提供等离子体态反应气体进入的空间，可有效地大幅缩小芯片上的固定柱痕尺寸。

主权项

一种用于石墨晶舟的固定柱，该石墨晶舟用以承载一芯片，其特征在于，该固定柱包含：一本体部，用以与该石墨晶舟结合，并承载该芯片；一颈部，与该本体部连接，用以供该芯片的边缘抵靠，该颈部的轮廓为一圆柱体，该圆柱体具有一第一半径；以及一头部，与该颈部连接，用以限制该芯片远离该本体部的移动，该头部的轮廓为一截头圆锥体，该截头圆锥体具有一第二半径及一第三半径，且该第三半径大于该第二半径。