| 发明名称 |
一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置 |
| 摘要 |
一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置，其特征为：由固定套管(1)、泵(2)、阀门(3)、真空室(4)、钯合金靶(5)、加热棒(11)、离子引出器(6)、光纤(7)、不锈钢管(8)、转轮(9)、电机(10)和底座(12)组成；光纤(7)从固定套管(1)穿入进入不锈钢针管(8)中，从不锈钢针管(8)穿出的光纤(7)缠绕在电机(10)上方的转轮(9)上，使钯合金钯(5)被加热棒加热并被蒸发，被蒸发钯合金离子可沉积在旋转的光纤(7)上，在光纤表面形成钯合金膜层，多余的靶合金离子被离子引出器(6)引出装置。该装置能自动、快速、直接和精确地在光纤侧面蒸镀均匀薄膜，具有广阔的市场前景。 |
| 申请公布号 |
CN202576550U |
申请公布日期 |
2012.12.05 |
| 申请号 |
CN201220220614.7 |
申请日期 |
2012.05.11 |
| 申请人 |
中国计量学院 |
发明人 |
刘洋;沈常宇;马启飞;蒋婷婷;钟川;褚金雷;邹新;牟晟;董新永;李萍 |
| 分类号 |
C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置，其特征在于：由固定套管(1)、泵(2)、阀门(3)、真空室(4)、钯合金靶(5)、加热棒(11)、离子引出器(6)、光纤(7)、不锈钢管(8)、转轮(9)、电机(10)和底座(12)组成；光纤(7)从固定套管(1)穿入进入不锈钢针管(8)中，从不锈钢针管(8)穿出的光纤(7)缠绕在电机(10)上方的转轮(9)上，使钯合金钯(5)被加热棒加热并被蒸发，被蒸发钯合金离子可沉积在旋转的光纤(7)上，在光纤表面形成钯合金膜层，多余的靶合金离子被离子引出器(6)引出装置。 |
| 地址 |
310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号 |
