一种计算多吸收层接触孔掩模衍射的方法

摘要

本发明提供一种计算多吸收层接触孔掩模衍射的方法，能快速计算光刻中多吸收层的各种类型接触孔掩模的衍射。步骤1.将掩模分解为N个区域，步骤2.将这(N-2)个二维光栅层的介电常数、介电常数倒数进行Fourier级数展开，利用Fourier系数得到这(N-2)个二维光栅层的Toeplitz矩阵；步骤3.由该掩模的C2v对称性，得到标准矩阵，然后求得每个对称操作的变换矩阵，最后求得各对称模式中电场的对称关系；步骤4.求解第（m,n）个衍射光级次的波矢量沿着切向、法向的分量；步骤5.根据对称性及科特罗Littrow条件，得到电场保留的谐波分量；步骤6.利用法向矢量方法得到耦合波方程；步骤7.求解透射场各级次幅值，并将四个模式合成得到最终的透射场各衍射级次的幅值；求解最终的透射场各衍射级次的衍射效率。

主权项

计算多吸收层接触孔掩模衍射的方法,其特征在于，具体步骤为：步骤1.将掩模分解为N个区域，其中N为正整数，N≥3，其中包含(N‑2)个二维光栅层步骤2.选择基本单元，将这(N‑2)个二维光栅层的介电常数、介电常数倒数进行Fourier级数展开，利用Fourier系数得到这(N‑2)个二维光栅层的Toeplitz矩阵；步骤3.由该掩模的C2v对称性，得到标准矩阵，然后求得每个对称操作的变换矩阵，最后求得各对称模式中电场的对称关系；步骤4.根据布洛开Floquet条件，求解第（m,n）个衍射光级次的波矢量沿着切向、法向的分量，其中m,n为(‑∞,+∞)之间的整数；步骤5.根据对称性及科特罗Littrow条件，得到电场保留的谐波分量；步骤6.利用法向矢量(Normal Vector,NV)方法得到耦合波方程；步骤7.首先由模式一对称性得到新的耦合波方程，并求解模式一中透射场各级次幅值；步骤8.根据步骤7求解模式二、模式三、模式四透射场的各个衍射级次的幅值；步骤9.将四个模式合成得到最终的透射场各衍射级次的幅值；步骤10.求解最终的透射场各衍射级次的衍射效率。