级联源以及用于控制级联源的方法

摘要

级联源以及用于控制级联源的方法。一种具有阴极罩、多个级联板以及阳极板的级联源，所述级联板彼此绝缘、依次叠置并一起限定至少一个等离子通道，所述阳极板具有连接至所述等离子通道的流出口，其中每个等离子通道设置一个阴极，该阴极包括一个电极，所述电极相对于所述阴极罩在所述等离子通道的方向上可调节，其中，夹紧装置优选为套爪夹头型。还描述了一种用于控制使用中的所述级联源的方法。

主权项

一种级联源，包括：阴极罩；多个级联板，所述级联板彼此绝缘并依次叠置；由所述多个级联板限定的至少一个等离子通道；阳极板，所述阳极板设置有连接至所述等离子通道的流出口；绝缘板，所述绝缘板位于所述级联板之间，并提供所述级联板之间的绝缘；置于所述绝缘板内侧的衬物，所述衬物限定所述等离子通道，并由对基板无害的材料制成；每个所述等离子通道具有一个阴极，该阴极包括电极，所述电极相对于所述阴极罩能够沿所述等离子通道的方向调节；并且所述等离子通道完全由对基板无害的材料制成的部件限定；所述级联板和所述阳极板由铜制成；并且衬物置于所述级联板和所述阳极板内侧，所述衬物限定所述等离子通道，并由对基板无害的材料制成。