显示装置和显示装置的制造方法

摘要

本发明提供一种显示装置和显示装置的制造方法。在可动快门方式的显示器中，使用低残留应力的稳定的非晶硅膜形成可动快门。显示装置中，具有包括第一基板和第二基板的显示面板，上述显示面板具有多个像素，上述各像素具有包含非晶硅的可动快门，和驱动上述可动快门的驱动电路，上述可动快门的上述非晶硅由至少2个非晶硅膜构成，当令上述至少2个非晶硅膜中彼此邻接的2个非晶硅膜为第一非晶硅膜和层叠在上述第一非晶硅膜上的第二非晶硅膜时，上述第一非晶硅膜与上述第二非晶硅膜的特性值不同。

主权项

一种显示装置，其特征在于：具有包括第一基板和第二基板的显示面板，所述显示面板具有多个像素，所述各像素具有包含非晶硅的可动快门，和驱动所述可动快门的驱动电路，所述可动快门的所述非晶硅由至少2个非晶硅膜构成，当令所述至少2个非晶硅膜中彼此邻接的2个非晶硅膜为第一非晶硅膜和层叠在所述第一非晶硅膜上的第二非晶硅膜时，所述第一非晶硅膜与所述第二非晶硅膜的特性值不同。