运动平台的位置测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种运动平台的位置测量装置，包括用于测量所述运动平台沿第一行程方向的位置信息的第一行程干涉仪和第一行程反射镜，以及用于测量所述运动平台沿第二行程方向的位置信息的第二行程干涉仪和第二行程反射镜，当所述运动平台沿着所述第一行程运动时，所述第二行程反射镜沿着所述运动平台的第一行程方向的反向移动，当所述运动平台沿着所述第二行程运动时，所述第一行程反射镜沿着所述运动平台的第二行程方向的反向移动还公开了一种采用上述的运动平台的位置测量装置的位置测量方法。本发明只需要很短的反射镜就可实现测量运动平台的位置，避免了反射镜过长以致其表面的平整度不容易保证且容易产生弯曲变形的缺陷，提高了测量的精度。

主权项

一种运动平台的位置测量装置，包括用于测量所述运动平台沿第一行程方向的位置信息的第一行程干涉仪和第一行程反射镜，以及用于测量所述运动平台沿第二行程方向的位置信息的第二行程干涉仪和第二行程反射镜，其特征在于，当所述运动平台沿着所述第一行程运动时，所述第二行程反射镜沿着所述运动平台的第一行程方向的反向移动，当所述运动平台沿着所述第二行程运动时，所述第一行程反射镜沿着所述运动平台的第二行程方向的反向移动。