微电机系统麦克风

摘要

本实用新型公开了一种微电机系统麦克风，包括线路板和与线路板盖接形成收容腔的外壳，在所述收容腔内，所述微电机系统麦克风设有置于线路板上的形成第一背腔的壳体，该壳体上设有具有第二背腔的微机电芯片以及控制电路芯片，所述壳体设有连通第一背腔和第二背腔的通孔。在微机电芯片和控制电路芯片下增加了一个设有第一背腔的壳体，第一背腔与微机电芯片的第二背腔连通从而增大了微电机系统麦克风的背腔，改善了灵敏度、降低了噪声、提高了信噪比、改善了频响。

主权项

一种微电机系统麦克风，包括线路板和与线路板盖接形成收容腔的外壳，其特征在于：在所述收容腔内，所述微电机系统麦克风设有置于线路板上的形成第一背腔的壳体，该壳体上设有具有第二背腔的微机电芯片以及控制电路芯片，所述壳体设有连通第一背腔和第二背腔的通孔。