发明名称 |
在基于碲化镉的薄膜光伏器件中形成窗口层的方法 |
摘要 |
本发明名称为“在基于碲化镉的薄膜光伏器件中形成窗口层的方法”。一般地提供了方法,其用于通过从靶材(例如,至少包含CdSOx,其中x为3或4)将混合相层溅射在透明传导氧化层(14)上并在该混合层上沉积碲化镉层(20)来制造此类薄膜光伏器件(10)。该透明传导氧化层(14)在玻璃基板(12)上。 |
申请公布号 |
CN102810597A |
申请公布日期 |
2012.12.05 |
申请号 |
CN201210175035.X |
申请日期 |
2012.05.31 |
申请人 |
初星太阳能公司 |
发明人 |
S.D.费尔德曼-皮博迪;R.D.戈斯曼 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
柯广华;朱海煜 |
主权项 |
一种形成薄膜光伏器件(10)的方法,所述方法包括:从靶材将混合相层(17)溅射到透明传导氧化层(14)上,其中所述透明传导氧化层(14)位于玻璃基板(12)上,以及其中所述靶材(64)包含CdSOx,其中x为3或4;以及将碲化镉层(20)沉积在所述混合相层(17)上。 |
地址 |
美国科罗拉多州 |