发明名称 在基于碲化镉的薄膜光伏器件中形成窗口层的方法
摘要 本发明名称为“在基于碲化镉的薄膜光伏器件中形成窗口层的方法”。一般地提供了方法,其用于通过从靶材(例如,至少包含CdSOx,其中x为3或4)将混合相层溅射在透明传导氧化层(14)上并在该混合层上沉积碲化镉层(20)来制造此类薄膜光伏器件(10)。该透明传导氧化层(14)在玻璃基板(12)上。
申请公布号 CN102810597A 申请公布日期 2012.12.05
申请号 CN201210175035.X 申请日期 2012.05.31
申请人 初星太阳能公司 发明人 S.D.费尔德曼-皮博迪;R.D.戈斯曼
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 柯广华;朱海煜
主权项 一种形成薄膜光伏器件(10)的方法,所述方法包括:从靶材将混合相层(17)溅射到透明传导氧化层(14)上,其中所述透明传导氧化层(14)位于玻璃基板(12)上,以及其中所述靶材(64)包含CdSOx,其中x为3或4;以及将碲化镉层(20)沉积在所述混合相层(17)上。
地址 美国科罗拉多州