半导体器件制造方法

摘要

本发明提供一种通过简单的步骤制造具有包括绝缘膜、半导体膜、导电膜等的膜图案的基板的方法，以及以高产量制造低成本的半导体器件的方法。根据本发明，在基板上形成具有低润湿性的第一保护膜之后，在第一掩模图案的外缘上施加或排放具有高润湿性的材料，从而可形成膜图案和具有膜图案的基板。

主权项

一种半导体器件的制造方法，它包括：通过排放含有掺杂镓的氧化锌在溶剂中的微滴在基材上形成膜图案；和在氧气氛下在低压下加热该膜图案以除去所述溶剂。