一种超纯气体充装系统的压力显示单元

摘要

本实用新型提出了一种超纯气体充装系统的压力显示单元。它包括压力表和压力变送器，所述压力表和压力变送器分别连接于气体充装管路上。本实用新型的优点是采用上述结构后，使用压力变送器和压力表相结合的方式，保证系统洁净度，在系统使用前，使用已检测的压力表校验压力变送器，增加系统可靠性。系统生产中，仅使用洁净的压力变送器，污染的压力表不会污染系统。

主权项

一种超纯气体充装系统的压力显示单元，包括压力表，其特征在于：还包括压力变送器，所述压力表和压力变送器分别连接于气体充装管路上。