一种高效低成本的蓝宝石晶圆棒掏棒方法

摘要

本发明公开了一种高效低成本的蓝宝石晶圆棒掏棒方法；解决现有掏棒方法排屑效果差、冷却液不能大量到达掏棒部位的问题。本发明主要由以下步骤组成：（1）将蓝宝石晶体固定于机床上，打开冷却水管持续引入冷却液；（2）将刀具移动到待加工的部位，通过1个以上的加工循环形成蓝宝石晶圆棒，每个加工循环中包括掏棒、提拉、排屑、下移四步。掏棒：将刀具转速调节为300～500r∕min，开始掏棒；提拉：掏棒的深度达到2～5mm时，快速提拉刀具；排屑：调整刀具转速，使其转速控制在500～1000r∕min，3～6s后，将刀具转速调节为300～500r∕min；下移：将刀具下移至待加工的部位。本发明具有效率高、排屑效果好、冷却效果佳等优点。

主权项

一种高效低成本的蓝宝石晶圆棒掏棒方法，其特征在于，主要由以下步骤组成：（1）将蓝宝石晶体固定于机床上，打开冷却水管持续引入冷却液；（2）将刀具移动到待加工的部位，通过1个以上的加工循环形成蓝宝石晶圆棒，每个加工循环中刀具完成掏棒、提拉、排屑、下移四个步骤，其中掏棒：将刀具转速调节为300～500r∕min，开始掏棒；提拉：掏棒的深度达到2～5mm时，快速提拉刀具，将冷却液压入蓝宝石晶体的磨削部位；排屑：调整刀具转速，使其转速控制在500～1000r∕min，3～6s后，将刀具转速调节为300～500r∕min；下移：将刀具下移至待加工的部位。