能量色散X射线荧光光谱仪

摘要

一种能量色散X射线荧光光谱仪，包括：载物台，用于承载样品；X射线发生装置，用于发射一次X射线；探测器，用于探测样品受X射线照射时产生的荧光；控制系统，用于接收探测器探测到的样品产生的荧光，分析样品中的元素及含量；二次靶台，用于放置二次靶材，二次靶材受一次X射线照射时产生的二次X射线照射至样品。用X射线发生装置产生的一次X射线去照射二次靶材，用二次靶材在一次X射线的照射下产生的单色激发源照射样品，可以检测出样品中的低含量元素，可以达到用同一台仪器，一次测量就能完成对样品中高含量和低含量元素的测试，大大提高了测试的准确性和效率。

主权项

一种能量色散X射线荧光光谱仪，包括：载物台，用于承载样品；X射线发生装置，用于发射一次X射线照射至所述样品；探测器，用于探测所述样品受X射线照射时产生的荧光；控制系统，用于接收所述探测器探测到的所述样品产生的荧光，分析所述样品中的元素及含量，其特征在于，还包括：二次靶台，用于放置二次靶材，二次靶材在一次X射线的照射下产生的二次X射线照射至所述样品；还包括：联用控制装置，用于控制所述X射线发生装置使其发射的一次X射线照射所述样品或所述二次靶材，所述二次靶材受所述一次X射线照射时产生的二次X射线照射至所述样品；所述联用控制装置包括电机以及与电机连接的转动机构，由所述电机驱动所述转动机构转动，所述X射线发生装置在转动机构的驱动下转动；所述转动机构为蜗轮转动装置，该蜗轮转动装置包括蜗轮和蜗杆，由所述电机驱动蜗杆，所述蜗杆带动蜗轮转动；所述X射线发生装置设置于所述蜗轮上；所述联用控制装置还包括第一光电开关和第二光电开关，分别设于所述蜗轮上，X射线发生装置处于向载物台上样品发射一次X射线的位置时，第一光电开关控制所述电机停止工作，X射线发生装置处于向二次靶材发射一次X射线的位置时，第二光电开关控制所述电机停止工作。