一种新型自动装卸硅片系统

摘要

本实用新型公开了一种新型自动装卸硅片系统，包括：用于装载硅片的花篮及石墨舟、用于固定所述石墨舟的可转向机构推车、用于提取硅片的机械手、用于控制所述机械手运动的升降机构、用于定位所述升降机构的PLC控制器；所述升降机构与所述机械手及PLC控制器分别相连。采用本实用新型，利用可转向机构推车固定石墨舟,并使石墨舟在竖直方向及水平方向上旋转运动。升降机构在PLC控制器的控制下实现精确定位并带动机械手提取硅片，将硅片依序装卸于石墨舟内。稳定性佳、使用方便,降低了碎片率及硅片表面污染度，在镀膜工艺完成后无需等待硅片冷却,即能启动机械手装卸硅片，实现了硅片的高效、精确、自动装卸，满足了用户的需求。

主权项

一种新型自动装卸硅片系统，其特征在于，包括：用于装载硅片的花篮及石墨舟、用于固定所述石墨舟的可转向机构推车、用于提取硅片的机械手、用于控制所述机械手运动的升降机构、用于定位所述升降机构的PLC控制器；所述升降机构与所述机械手及PLC控制器分别相连。