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发明名称
摘要
申请公布号
JP5090836(B2)
申请公布日期
2012.12.05
申请号
JP20070238977
申请日期
2007.09.14
申请人
发明人
分类号
H03H9/02;H01L23/02;H03H3/02
主分类号
H03H9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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