Ring-shaped baffle assembly

摘要

본 발명은 에칭 챔버에서 플라즈마를 가두기 위한 환형 배플 조립체에 관한 것으로서, 상부와 하부 프레임을 일체형으로 동일한 재질의 알루미늄으로 형성하여 상부와 하부 간의 결합을 견고하게 하고 플라즈마를 가두는 것이 용이하도록 하여 작업 공정 시간을 단축시킬 수 있게 하는 환형 배플 조립체에 관한 것이다.