压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置

摘要

本发明提供一种压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置，所述压电元件能够以较小的驱动电压而获得较大的变形。压电元件具有：压电体膜，其由包含锆钛酸铅的钙钛矿型结晶构成；电极，其被设置于压电体膜上，源自压电体膜的（100）面的X射线的衍射波峰位置（2θ）在21.89以上21.97以下，并且，（200）面半峰全宽（2θ）在0.30以上0.50以下。液体喷射头具备该压电元件，液体喷射装置具备该液体喷射头。

主权项

一种压电元件，其特征在于，具有：压电体膜，其由至少包含Pb、Ti以及Zr的钙钛矿型结晶构成；电极，其被设置于该压电体膜上，源自所述压电体膜的（100）面的X射线的衍射波峰位置（2θ）在21.89以上21.97以下，并且，（200）面半峰全宽（2θ）在0.30以上0.50以下。