多晶硅锭的质量检验方法

摘要

多晶硅锭的质量检验方法，涉及多晶硅锭的质量检验方法，依次进行以下步骤：a.在多晶硅锭铸锭完成后，待硅锭冷却；b.在进行开方工序前，在完整的硅锭上数出结晶点个数；c.对每一个结晶点，测量结晶点周围电阻率小于选定值的范围；d.对每一个结晶点，以结晶点为圆心，根据其周围电阻率小于选定值的范围的大小画圆，量取圆的直径；e.在所得到的电阻率小于选定值的范围的圆的直径中，选取最大的直径数值。f.对比每个硅锭的结晶点个数和最大直径数值的大小，作为判断依据。本发明的有益效果是：可得到精确的判断硅锭质量优劣的数据，提高了硅锭质量控制的精确度，降低了劣质品带来的风险，提高了产成品的整体质量降低成本。

主权项

多晶硅锭的质量检验方法，其特征在于依次进行以下步骤：a在多晶硅锭铸锭完成后，待硅锭冷却；b在进行开方工序前，在完整的硅锭上数出结晶点个数；c对每一个结晶点，测量结晶点周围电阻率小于选定值的范围；d对每一个结晶点，以结晶点为圆心，根据其周围电阻率小于选定值的范围的大小画圆，量取圆的直径；e在所得到的电阻率小于选定值的范围的圆的直径中，选取最大的直径数值；f对比每个硅锭的结晶点个数和最大直径数值的大小，作为判断依据。