基板检查装置、基板检查方法和存储介质

摘要

本发明提供不使用检查用基板、能够防止产生由照明部的照度的降低引起的检查的不顺利的问题的技术。本发明的基板检查装置，具有：模式选择部，用于在检查模式和维护模式之间选择模式，所述检查模式以载置于设置在机箱内的载置台的基板为被摄体进行摄像来进行检查，所述维护模式用于确认照明部的照度；导光部件，设置于上述机箱内，用于将上述照明部的光导向摄像部的摄像元件；判定部，对在维护模式执行时经由上述导光部件被摄像元件取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内进行判定；和报知部，当由上述判定部判定为上述亮度在上述容许范围外时，用于报知需要进行照明部的更换。

主权项

一种基板检查装置，从照明部对载置于设置在机箱内的载置台的基板照射光，通过包括摄像元件的摄像部进行摄像，基于其摄像结果进行基板的检查，所述基板检查装置的特征在于，包括：模式选择部，用于在检查模式和维护模式之间选择模式，所述检查模式以载置于所述载置台的基板为被摄体进行摄像来进行检查，所述维护模式用于确认照明部的照度；导光部件，设置于所述机箱内，用于将所述照明部的光导向所述摄像元件；判定部，对在维护模式执行时经由所述导光部件通过摄像元件取得的照明部的光的亮度是否在预先设定的容许范围内进行判定；和报知部，用于当由所述判定部判定为所述亮度在所述容许范围外时，报知需要进行照明部的更换。