一种砷化镓单晶炉电气控制系统

摘要

本实用新型实施例提供了一种砷化镓单晶炉电气控制系统，系统包括：中心控制部分、运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板，所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板分别与所述中心控制部分相连。中心控制部分包括通信模块、可编程逻辑控制器和输入输出模块，所述可编程逻辑控制器通过所述通信模块和所述操作面板进行通信，以及通过所述输入输出模块和所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分及水路检测部分进行通信。本实用新型实施例可以提高砷化镓材料生产过程的精度和可靠性，容易实现功能扩展，降低电能消耗。

主权项

一种砷化镓单晶炉电气控制系统，其特征在于，所述系统包括：中心控制部分、运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板，所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板分别与所述中心控制部分相连；所述中心控制部分包括通信模块和可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器通过所述通信模块和所述操作面板进行通信，以及通过其输入输出模块和所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分及水路检测部分进行通信；所述运动控制部分包括辅助继电器、直流驱动器和电机，所述辅助继电器和所述输入输出模块以及所述直流驱动器相连，所述电机和所述直流驱动器相连；所述气体控制部分包括：质量流量计和气压控制器，所述质量流量计和气压控制器与所述输入输出模块相连；所述温度控制部分包括：连接器和多段温度控制器，所述多段温度控制器通过所述连接器和所述输入输出模块相连；所述水路检测部分包括水温传感器、水压表及水流量传感器，所述水温传感器和所述输入输出模块相连，所述水压表及所述水流传感器与所述输入输出模块相连。