| 摘要 |
本发明不同定位方向的压电片轮流叠放的压电堆栈定位器，包括X定位压电片，Y定位压电片，其特征是所述X定位压电片和Y定位压电片交替叠放固定成堆栈结构，其中X定位压电片之间的连接为机械串联且电学并联，Y定位压电片之间的连接也为机械串联且电学并联。本发明也可由X定位压电片、Y定位压电片和Z定位压电片三者轮流叠放固定成堆栈，构成三个定位方向的压电片轮流叠放的压电堆栈定位器。本发明各个一维定位压电堆栈定位器互为负载且负载相同，所以在各个不同定位方向上定位完全对称，从根本上消除了成像畸变、温漂，提高了定位精度，同时保持了压电堆栈定位器特有的优越特性。 |
