基于压电桥式梁和柔性薄膜的液体喷头

摘要

本发明公开了属于微电子机械领域的一种基于压电桥式梁和柔性薄膜的液体喷头。其主要结构包括压电桥式梁、柔性薄膜、微槽道、微喷孔；在液体喷射结构外表面设置与微槽道相通的微喷孔，柔性薄膜覆盖于微槽道的顶部，含有压电薄膜层及其上、下电极的压电桥式梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部放置，作为微槽道中液体喷射的驱动器。降低了对压电桥式梁表面绝缘介质层的性能要求。柔性的有机薄膜在压电桥式梁的驱动下能发生较大的形变；同时，防止微槽道中的液体通过桥式梁两侧的缝隙上下流动，能更有效地驱动更多液体从微喷孔中喷出，提高了液体喷射结构的工作效率和可靠性。

主权项

一种基于压电桥式梁和柔性薄膜的液体喷头，主要结构包括压电桥式梁、柔性薄膜、微槽道、微喷孔；其特征在于，在喷头外表面设置与微槽道相通的微喷孔，柔性薄膜覆盖于微槽道的顶部，含有压电薄膜层及其上、下电极的压电桥式梁在微槽道顶部柔性薄膜的外部放置，作为微槽道中液体喷射的驱动器；上述与微槽道相通的微喷孔、微槽道、微槽道顶部的柔性薄膜、压电桥式梁相结合构成液体喷射结构；在电压的驱动下，压电桥式梁发生形变，驱动微槽道顶部的柔性薄膜发生形变，从而改变微槽道的体积，将微槽道中的液体从与微槽道相通的微喷孔中喷出。