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发明名称 Particle-optical system
摘要
申请公布号 EP1753010(B1) 申请公布日期 2012.12.05
申请号 EP20050017318 申请日期 2005.08.09
申请人 CARL ZEISS SMS GMBH 发明人 PLATZGUMMER, ELMAR, DR. DIPL.-ING.;STENGL, GERHARD, DR. DIPL.-ING.;FALKNER, HELMUT
分类号 H01J37/317;B82Y10/00;H01J37/12 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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