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发明名称 Radiation detector, method of manufacturing a radiation detector, and lithographic apparatus comprising a radiation detector
摘要
申请公布号 US8324598(B2) 申请公布日期 2012.12.04
申请号 US13399560 申请日期 2012.02.17
申请人 发明人
分类号 G21K0005/000000 主分类号 G21K0005/000000
代理机构 代理人
主权项
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