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发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20120131182(A) 申请公布日期 2012.12.04
申请号 KR20127024040 申请日期 2010.11.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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