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<p>미립자의 제조방법은, 미립자 제조용 재료를 열플라즈마염 내에 도입하고, 기상 상태의 혼합물로 하고, 이것을 급냉하여, 미립자를 생성한다. 이 방법에서는, 미립자 제조용 재료를, 바람직하게는 가연성 재료를 포함한, 분산매 또는 용매 중에 분산 또는 용해시켜 슬러리 콜로이드 용액 또는 용해 용액 등의 분산액체로 하고, 이 분산 액체를 액적화시키거나, 혹은 미립자 제조용 재료를, 캐리어 가스와 가연성 재료를 이용하여 분산시켜, 열플라즈마염 내에 도입한다. 미립자의 제조방법 및 장치에서는, 기상 상태의 혼합물을 급냉하는 데에 충분한 공급량의 기체를, 열플라즈마염의 꼬리부를 향해서 공급한다. 또한, 이 방법 및 장치에서는, 1차 미립자를 사이클론 내에 도입하여 냉각과 분급을 실시하고, 조대 입자가 제거된, 입자지름이 100nm 이하인 2차 미립자를 회수한다.</p> |
